English

MOBI ALD

Mobile ALD system for in-vacuo surface science measurements

Projekt MOBIALD ma na celu opracowanie mobilnego systemu osadzania warstw atomowych (ALD), przeznaczonego do zaawansowanych badań nad inżynierią powierzchni i zjawisk na granicy faz. System ten umożliwi bezpośrednią integrację procesów ALD z nowoczesnymi technikami analizy powierzchni, działającymi w warunkach wysokiej i ultrawysokiej próżni (HV/UHV). Dzięki temu możliwe będzie prowadzenie modyfikacji powierzchni wspomaganych plazmowo oraz transfer próbek w warunkach próżniowych (in-vacuo)

Cele Projektu

Główne cele projektu obejmują opracowanie i wykonanie prototypu mobilnego systemu ALD oraz weryfikację jego możliwości badawczych w zakresie analizy właściwości powierzchni. W ramach projektu prowadzone będą badania z wykorzystaniem spektroskopii absorpcyjnej promieniowania rentgenowskiego (XAS) — obejmującej fluorescencję rentgenowską (XRF) oraz pomiar całkowitego prądu elektronowego — a także pomiary spektroskopii fotoelektronów rentgenowskich (XPS). Pomiary będą realizowane w polskim ośrodku synchrotronowym SOLARIS (badania XAS), oraz w laboratoriach AGH (badania XPS) przez badaczy AGH.

Cele naukowe projektu koncentrują się na badaniu procesów nukleacji i początkowych etapów wzrostu tlenków Al₂O₃, ZnO i Cu na powierzchniach metalicznych i hydroksylowanych, ze szczególnym uwzględnieniem zjawisk adsorpcji i chemisorpcji prekursorów gazowych w kolejnych półcyklach ALD. Uzyskane wyniki pozwolą określić stan utlenienia, strukturę chemiczną i elektronową oraz skład pierwiastkowy na granicy faz i w obrębie rosnących warstw

PROGRAM SZWAJCARSKO-POLSKI

Program Szwajcarsko-Polski (Szwajcarski Program Współpracy) to inicjatywa rządu Szwajcarii, której celem jest zmniejszanie różnic społecznych i gospodarczych w obrębie Unii Europejskiej, w tym w Polsce. Dodatkową korzyścią programu jest wzmacnianie współpracy dwustronnej pomiędzy Szwajcarią a Polską.